氮化硅的生产工艺及设备

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氮化硅的生产工艺及设备合成氮化硅生产加工工艺技术低压燃烧合成氮化硅或氮化硅铁的方法及设备等离子体化学气相法制备高相氮化硅粉体的工艺氮化硼母体硼氮聚合物合成方法及所得产品晶须补强氮化硅复合材料制造方法一种新的激光制氮化硅粉末的方法及装置氮化铝纤维的合成方法以氮化铝为绝缘埋层的绝缘体上的硅材料制备方法自蔓延高温合成氮化硅铁粉末的制备方法超细氮化硅微粉气相合成新工艺六方氮化硼基陶瓷燃烧合成工艺方法自蔓延高温合成制备－氮化硅晶须的方法用氮化铝和氮化铝:碳化硅合金制成的仿真钻石宝石一种低压燃烧合成高相氮化硅粉体的方法利用溶剂热反应低温合成氮化硅纳米材料的方法一种利用富硼渣制备氮化硼赛隆陶瓷复合材料的方法纳米多晶氮化碳薄膜的制备方法自蔓燃无污染快速制备高相氮化硅粉体的方法以聚四氟乙烯为添加剂燃烧合成氮化硅粉体的方法制备纳米氮化硅粉体的气相合成装置以氮化硅镁作为生长助剂燃烧合成制备-氮化硅棒晶一种造粒燃烧合成氮化硅的生产方法常压燃烧合。

氮化硅的生产工艺及设备关键字：氮化硅生产问题在亚微米的生产制造技术中，氮化硅工艺的已经成为产品良率的主要影响因素。本文主要针对立式氮化硅炉管的氮化硅制造工艺中所遇到问题进行研究。通过大量的对比性实验进行排查与分析，并利用各种先进的实验的设备和器材找到产生的原因，找到解决问题的方案。结果证明不仅延长了机台的维护周期，而且改善了机台的状况，最终获得良率的提升，优化了制造工艺。氮化硅工艺的问题分析氮化硅制备工艺通常在中等真空程度下的反应腔体内通入反应气体二氯二氢硅和氨气来生成氮化硅，反应温度一般为-度。反应方程式：晶圆的分布图见图，发现主要分布在晶圆的边缘部分。在下分析这些，可以很清楚的看到这些是一些薄膜的剥落，而利用来分析的结果则显示这些的主要成分是氮元素和硅元素。根据对的初步分析，认为这些的来源是在生产中剥落下来的氮化硅薄膜。那么是什么原因使沉积在反应腔上的薄膜剥落下来呢？。