超细碳化硅杂质含量

超细碳化硅杂质含量所属年份：成果类应用技术所处阶段：中期阶段成果体现形式：新产品知识产权形式：发明专利成果完成单位：青海大学合作单位：成果摘要：该项目充分利用青海省的碳化硅的资源，青海大学和青海省方盛磨料磨具有限公司联合研制半导体制造级耐高温、抗腐蚀、耐磨损高纯超细碳化硅陶瓷粉，制造出高纯度大于以上、平均粒径小于.的微粒，全铁含量控制小于.以下，游离硅控制在以下，全铝含量小于且在青海省实现产业化。项目使用了碳化硅单结晶加工物作为粉碎介质，应用于水流粉碎机、粉碎工程内分级和酸碱洗净技术，具有创新性。生产的碳化硅产品纯度高、杂质含量低。研究总体水平达到国内领先水平。成果完成人：铁生年岛井骏藏李健保李宪国王宁峰铁生兰宋启森薛伟康海龙吕勇王桂红宣俊刚莫鹏君林红完整信息。

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